Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.
Планарная технология — совокупность технологических операций, используемая при изготовлении планарных (плоских, поверхностных) полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Содержание 1 Принципы технологии 2 Основные технолог … Википедия
литография оптическая — Термин литография оптическая Термин на английском optical lithography Синонимы фотолитография, photolitigraphy Аббревиатуры Связанные термины биомедицинские микроэлектромеханические системы, лаборатория на чипе, литография, фоторезист Определение … Энциклопедический словарь нанотехнологий
Фоторезист — (от фото и англ. resist) полимерный светочувствительный материал. Наносится на обрабатываемый материал в процессе фотолитографии или фотогравировки с целью получить соответствующее фотошаблону расположение окон для доступа травящих или … Википедия
Компакт-диск — Запрос «CD» перенаправляется сюда; см. также другие значения. Компакт диск … Википедия
КД ПЗУ — Запрос «CD» перенаправляется сюда. Cм. также другие значения. Работа с оптическими дисками Оптический диск Образ оптического диска ПО для записи оптических дисков Технологии записи Режимы записи Пакетная запись Типы оптических диско … Википедия
Планарная технология — планарный процесс (англ. planar, от лат. planus плоский, ровный), первоначально совокупность технологических операций, проводимых для получения полупроводниковых (ПП) приборов с электронно дырочными переходами (См. Электронно дырочный… … Большая советская энциклопедия
МИКРОЛИТОГРАФИЯ — формирование микрорисунков на поверхности твёрдого тела. M. лежит в основе технологии микроэлектроники. Обычно M. включает: нанесение на поверхность твёрдого тела (подложку) тонкого слоя фоторезиста (материала, чувствительного к воздействию… … Физическая энциклопедия
фотолитография — и; ж. 1. Литография, основанная на применении фотографии, когда рисунок, изображение с негатива наносится на литографический камень или металлическую пластинку, покрытые светочувствительным слоем. 2. Оттиск с литографической печатной формы,… … Энциклопедический словарь
ФОТОЛИТОГРАФИЯ — в планарной технологии, способ образования на поверхности полупроводн. кристалла (подложки) маски с окнами определ. форм и размеров для последующего формирования элементов интегральных схем и др. электронных приборов. Осуществляется… … Естествознание. Энциклопедический словарь
Fotolackschicht — fotorezisto sluoksnis statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. lacquer layer; photoresist layer vok. Fotolackschicht, f; Fotoresistschicht, f rus. слой фоторезиста, m pranc. couche de photorésist, f … Radioelektronikos terminų žodynas
